簡易檢索 / 檢索結果

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    應用於數位微影之莫爾條紋對位量測技術開發
    • 自動化及控制研究所 /108/ 碩士
    • 研究生： 蘇俊翰   指導教授： 郭鴻飛
    • 在線路圖案的定義過程，無論是使用什麼型態的曝光系統，對準量測技術皆為關鍵的製程步驟，在曝光之前能夠準確的將載台進行可以有效減少製程的重工率，進而降低製程成本。本實驗室在先前的研究過程中，發現使用數位…
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